微电子制造工艺技术【肖国玲主编】-PDF电子版

书籍名称：微电子制造工艺技术

页数：198

作者：肖国玲主编

出版时间：2008

ISBN：9787560621036

出版社：西安：西安电子科技大学出版社

简介：

前部分目录

第1章　半导体工业概述——1
1.1 引言——1
1.1.1　半导体技术的发展——1
1.1.2　集成电路产品发展趋势——2
1.2　半导体工业的构成——4
1.3　半导体器件的生产阶段——4
复习思考题——5
第2章　半导体材料基础知识——7
2.1　晶体学基础知识——7
2.1.1　晶体与非晶体——7
2.1.2　原子间的键合——7
2.1.3　空间点阵——11
2.1.4　晶向和晶面的表示方法——13
2.2　常用的半导体材料和工艺化学品——17
2.2.1　本征半导体和掺杂半导体——17
2.2.2　常用的半导体材料——20
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